熱門關(guān)鍵詞: 測角儀,應(yīng)力雙折射,折射率,薄膜弱吸收,反射率,GDD檢測設(shè)備,波片相位延遲,剪切
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簡要描述:角分辨散射測量系統(tǒng)-Horos簡易型散射儀角分辨散射測量系統(tǒng)-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)簡易型散射儀 是一種小型的,便于移動的光學傳感器。它以散射測量為基礎(chǔ),用于測量從微米級到亞納米級的表面粗糙程度。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學表面均可。
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Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的,便于移動的光學傳感器。它以散射測量為基礎(chǔ),用于測量從微米級到亞納米級的表面粗糙程度。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學表面均可。
測量參數(shù):粗糙度相關(guān)參數(shù)如功率譜密度(PSD),3D散射光分布,并可求得粗糙度,檢測樣品均一性。
角分辨散射測量系統(tǒng)-Horos簡易型散射儀特點:
• 體積小,速度快: 測試時間<1s
• 非接觸式2D/3D測量
• 高靈敏度/低噪聲:Rq<0.5nmt
• 高動態(tài)范圍≧1013
• 可與輪廓儀直接相連并比較測量結(jié)果
角分辨散射測量系統(tǒng)-Horos簡易型散射儀應(yīng)用:
可在下列領(lǐng)域中進行快捷,不受外界干擾的高精度檢測
• 平面或復(fù)雜(各種形狀)表面
• 光學加工(表面加工,鍍膜,模具制造等)
• 機械零件
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